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單晶硅壓力變送器和電容式壓力變送器都是變送器的一種,他們各自有什么樣的區(qū)別呢,接下來(lái)我們來(lái)了解一下他們之間的區(qū)別。
單晶硅壓力傳感器技術(shù)與專業(yè)封裝工藝,精心研制出的一款技術(shù)的高性能壓力變送器,測(cè)量精度高達(dá)0.075級(jí),的雙過(guò)載保護(hù)膜設(shè)計(jì),單向過(guò)壓可達(dá)40MPa。單晶硅壓力傳感器位于金屬位于頂部,遠(yuǎn)離介質(zhì)接觸面,實(shí)現(xiàn)機(jī)械隔離和熱隔離;玻璃燒結(jié)一體的傳感器引線實(shí)現(xiàn)了與金屬基體的高強(qiáng)度電氣絕緣,提高了電子線路的靈活性能與耐瞬變電壓保護(hù)的能力。這些技術(shù)確保了單晶硅壓力變送器可從容應(yīng)對(duì)的化學(xué)場(chǎng)合和機(jī)械負(fù)荷,同時(shí)具備抗電磁干擾能力,足以應(yīng)對(duì)為復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境應(yīng)用,是名副其實(shí)的隱形儀表。
電容式差壓變送器的檢測(cè)元件采用電容式壓力傳感器,組成分測(cè)量和放大兩大部分。輸入差壓作用于測(cè)量部分電容式壓力傳感器的中心感壓膜片,從而使感壓膜片(即可動(dòng)電極)與兩固定電極所組成電容量發(fā)生變化,此電容變化量由電容/電流轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換成電流信號(hào)Id,Id和調(diào)零與零遷電路產(chǎn)生的調(diào)零信號(hào)IZ的代數(shù)和同反饋電路產(chǎn)生的反饋信號(hào)If進(jìn)行比較,其差值送入放大器,經(jīng)放大得到整機(jī)的輸出信號(hào)IO。
單晶硅變送器采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。電容式變送器被測(cè)介質(zhì)的兩種壓力通入高、低兩個(gè)壓力室,作用在δ元件(即敏感元件)的兩側(cè)隔離膜片上,通過(guò)隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測(cè)量膜片兩側(cè)。電容式壓力變送器是由測(cè)量膜片與兩側(cè)絕緣片上的電極各組成一個(gè)電容器。 當(dāng)兩側(cè)壓力不一致時(shí),致使測(cè)量膜片產(chǎn)生位移,其位移量和壓力差成正比,故兩側(cè)電容量就不等,通過(guò)振蕩和解調(diào)環(huán)節(jié),轉(zhuǎn)換成與壓力成正比的信號(hào)。
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