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濟南中創(chuàng)工業(yè)測試系統(tǒng)有限公司
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閱讀：194發(fā)布時間：2022-10-2
適用范圍：
木標準規(guī)定了硅單晶切割片、研磨片和拋光片(簡稱硅片)的杭彎強度測試方法。
本標準適用于晶向為
依據(jù)標準：
GB1 2964硅單晶拋光片
GB 12965硅單晶切割片和研磨片
常用術(shù)語：
抗彎強度
試樣破碎時的彎曲應(yīng)力，對脆性材料通常是凸表面徑向張應(yīng)力，表征抗破碎的性能。
小撓度--圓片受到中心載荷彎曲時，圓片中心面彎曲前后的位移與圓片厚度比為小量。
方法原理：
制樣方法
1、硅片抗彎強度與硅片內(nèi)在質(zhì)量和表面損傷狀況有關(guān)，一般力學參數(shù)都有一定的分散度，因此每組試樣作研究時需10片左右，抽檢時可按有關(guān)抽樣標準或供需雙方商定。
2、試樣表面應(yīng)符合GB12964或GB12965要求。
3、將試樣用石臘:松香=2:1配成的粘合劑粘在玻璃板上，用直徑40mrn的割圓套頭在臺鉆上割成直徑40mrn的圓片。割圓位置規(guī)定如下:直徑小于80mm的硅片在同心圓位置;直徑80rnm以上長硅片在偏離主參考面45。位置割個圓。
4、試樣用適當溶劑去臘，用洗滌劑清洗潔凈，去離子水沖洗，烘干后放入干燥器中備用。
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